MEMSデバイス徹底入門-「つかう」「わかる」「つくる」マイクロマシン・センサ-
strong>本, 三田 吉郎
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によって 三田 吉郎
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内容紹介 MEMS技術がひととおりわかる、MEMSを使ってみたい人のための入門書決定版。 ・電気電子、機械、材料、情報など、幅広い工学分野にまたがるため、初学者がどこから取り組めばよいか戸惑いやすい「MEMSデバイス」を、 著者独自の語り口でわかりやすく説明します。 ・著者自ら秋葉原でMEMSセンサを入手して電子工作・測定を行い、市販MEMSデバイスを使ってどのように電子情報機器をつくるか、具体的 に解説します(第1章)。 ・MEMSデバイスの中から静電マイクロアクチュエータを取り上げ、模型や本物のMEMSで実験を行いながら、仕組みを解き明かしていきます (第2章)。 ・網羅的な知識よりも考え方に重点を置いて掘り下げて解説しているので、様々なケースに応用可能な基礎力を身につけられま す。 ・数式を追わなくても本質が理解できるように記述を工夫しました。 ・数式による精密な議論が必要な読者のため、途中の式変形も含め、丁寧に順を追って提示しています。 目次より(抜粋) 第1章 MEMSを《つかう》 電子情報機器の用途―どこでもMEMSの時代 電子情報機器の仕組み―入力と、情報処理と、出力をもつ電子回路 百聞は一見に如かず―秋葉原で買ったMEMS大集合 調べてみよう―抵抗式(曲げ)センサ徹底解剖 作ってみよう―ピエゾ抵抗センサとオペアンプで作る曲げセンサディスプレイ 調べてみよう―重量センサの精度の秘密を探る! 作ってみよう―コンピュータとセンサをつなぐ(無線データロガー) ディジタルインターフェース徹底入門―シリアルインターフェースの動作 作ってみよう―I2C接続加速度センサとワンボードPCによる加速度メータ 第2章 MEMSを《わかる》 百聞は一見に如かず―ばね+マス=MEMS構造を理解する 静電マイクロアクチュエータを理解しよう―望まない方向の力に注意! 板ばね解析徹底入門―板ばねの曲げと力の仕組み 実物MEMSの共振現象―時間応答を観察しよう 並べて「見よう」―MEMS de Piano 大集合(振幅-周波数積一定の法則) 駆動原理を押えよう―熱、ピエゾ効果、ローレンツ力、EWOD… 第3章 MEMSを《つくる》 百聞は一見に如かず―「実験用MEMS」で見るMEMS構造と製法 フォトリソグラフィ大研究―MEMSは「積んで、リソして、削って」作る パターンを転写してMEMSを形作る―Deep RIE 選択エッチングで可動構造を開放―犠牲層エッチング チップに切ってパッケージ配線―ダイシング、ボンディング LSIもMEMS素材になる―CMOSポストプロセスのススメ ナノテクノロジープラットフォームへの招待―短期間MEMS研究開発へ 内容（「BOOK」データベースより） これは、ただの解説本ではない!豊富な実験例と平易な文章でスキルと知識が自然と身に付く、初心者からベテランまで必携の一冊! 著者について 三田吉郎(みたよしお) 東京大学大学院 工学系研究科 電気工学専攻 准教授 文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム微細加工プラットフォーム東京大学VDEC「超微細リソグラフィー・ナノ計測拠点」マネージャ 1972年 広島県呉市生まれ 著者略歴 (「BOOK著者紹介情報」より) 三田/吉郎 東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻准教授。文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム微細加工プラットフォーム。東京大学VDEC「超微細リソグラフィー・ナノ計測拠点」マネージャ。1972年広島県呉市生まれ。1991年広島大学附属高等学校卒業。1995年東京大学工学部電子工学科卒業、学士。1997年東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻卒業、修士。2000年東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻卒業、博士(工学)。2000年東京大学大規模集積システム設計教育研究センター(VDEC)助手。2001年東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻講師。2005年同助教授(2007年准教授へ呼称変更)。2001年~大規模集積システム設計教育研究センター協力教員(クリーンルーム大型共用装置担当)。1997~1998年フランス国立科学研究センター(CNRS)准研究員。2007~2008年フランス国立情報学研究所(INRIA)招聘教授。2016~2017年宇宙航空研究開発機構(JAXA)客員准教授。受賞:2000年丹羽記念賞、2013年(第1回)東京大学工学部Best Teaching Award。所属学会:電気学会、電子情報通信学会、応用物理学会、IEEE。資格:電話級・電信級・第二級・第一級アマチュア無線技士(JF4CZJ/1)、家庭電気初級修理技士。東京大学担当講義:電気磁気学、電子回路2、電子情報機器学、全学体験ゼミナール「マイクロマシンを作ろう」、総合科目「わかる電子回路」ほか(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
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一読して、何とわかりやすく、且つ内容がすっと頭に入る（入ったような気がする）書籍なんだ！というのが偽らざる感想。「はじめに」に記載されているデカルト先生のお言葉、特に法則２「大きな問題を、できるだけ細かな単位に分割すること」、法則３「簡単なところから一つ一つ組み立てて理解すること」、これは小生も常日頃心がけている法則群であるが、筆者は将にこれを本書において実践し、世に知らしめてしまった。IoTの時代を迎え、今後益々重要性の増す、「MEMSデバイス」に関してとんでもない本を書き上げてしまった。記述は平易ではあるが、中身は深い。秋葉原の電気街で自ら購入したMEMS素子を使ってセンサを組み立て、測定するところから物語は始まる。「実践」を自らの信条としてきたであろう筆者の、工学的思考が満載の力作である。これはもはや、「MEMSデバイス徹底入門」書に留まらず、MEMSを志す学生から実務者に至るまで、読んで楽しく、見て役に立つ、必読の書となるであろう。故井上ひさしの言葉「むずかしいことをやさしく、やさしいことをふかく、ふかいことをおもしろく、、、」の実践にも通じる、気概のある書である。 是非手に取ってみてほしい。
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